簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "sputter".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="反應式濺鍍"


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    界面氧化鋁對Al/TaOxNy/TaN及TaN/TaOxNy/Al元件之雙極式電阻切換影響
    • 材料科學與工程系 /101/ 碩士
    • 研究生: 黎佳惠 指導教授: 周賢鎧
    • 本研究以積體電路相匹配之Al、TaN作為上、下電極,以取代昂貴之白金(Pt)作為電極,並採用微波電漿氧化或反應式濺鍍製備中間電阻層TaOxNy,製成Al/TaOxNy/TaN、TaN/TaOxNy/…
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    超低溫多晶矽薄膜沉積技術研發
    • 電子工程系 /95/ 碩士
    • 研究生: 賴自強 指導教授: 葉文昌
    • 為了實現塑膠基板薄膜電晶體的目標,我們成功地利用反應式濺鍍的方式來沉積對351nm波長具備0~56000cm-1吸收係數之SixNy半透光膜,並配合熱滯留輔助結晶技術,在塑膠基板上開發出超低溫多晶矽…
    • 點閱:313下載:1
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